
V-Ga2O3
作爲製造高品質IGZO目標的原料,設計成均勻的微結構及高生產率。
應用:IGZO靶、催化劑、功率器件晶片
利用高溫蒸發法制造氧化納米粉末的工藝,與現有的溼法相比,在品質(低絮凝、超微、高純度)、成本(降低1/3以上)、生產效率(縮短20%以上工藝時間)方面具有事業競爭力。
比表面積8~15㎡/g
特點:
低凝集(氣相合成法)
高結晶性
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